Preparation of Epitaxial YSZ Thin film Deposited on SiO<sub>2</sub>/Si(001) at Room Temperature by Pulsed Laser Deposition(PLD)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of Epitaxial YSZ Thin film Deposited on SiO₂/Si(001) at Room Temperature by Pulsed Laser Deposition(PLD)

著者

和文:	Hirokazu Ishigaki, Tomoaki Yamada, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.
英文:	Hirokazu Ishigaki, Tomoaki Yamada, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Ceram. Soc. Japan

巻, 号, ページ

Vol. 110 No. 5 pp. 333-337

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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