Fabrication of a low-threading-dislocation-density AlxGa1-xN buffer on Sic using highly Si-doped AlxGa1-xN superlattices

論文・著書情報

タイトル

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英文:	Fabrication of a low-threading-dislocation-density Al_xGa_1-xN buffer on Sic using highly Si-doped Al_xGa_1-xN superlattices

著者

和文:	Hirayama H., Ainoya M., Kinoshita A., Hirata A., Aoyagi Y..
英文:	Hirayama H., Ainoya M., Kinoshita A., Hirata A., Aoyagi Y..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Phys. Lett.

巻, 号, ページ

Vol. 80 pp. 2057

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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