GaN ablation etching by simultaneous irradiation with F<sub>2</sub> laser and KrF excimer laser

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	GaN ablation etching by simultaneous irradiation with F₂ laser and KrF excimer laser

著者

和文:	Akane T., Sugioka K., Hammura K., Aoyagi Y., Midorikawa K., Obata K., Toyoda K., Nomura S..
英文:	Akane T., Sugioka K., Hammura K., Aoyagi Y., Midorikawa K., Obata K., Toyoda K., Nomura S..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Vac. Sci. Technol. B

巻, 号, ページ

Vol. 19 pp. 1388

出版年月

2001年

出版者

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会議名称

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開催地

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