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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Piezoelectric Effect on Plasma Chemical Vapor Deposition of Hydrogenated Amorphous Silicon Films 
著者
和文: 鯉沼秀臣.  
英文: HIDEOMI KOINUMA.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Materials Research Society Symposium Proceedings 
巻, 号, ページ     No. 297    pp. 139-144
出版年月 1993年 
出版者
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会議名称
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開催地
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