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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Optical Detection and Dynamics of Surface Transient Process in Plasma CVD of Hydrogenated Amorphous Silicon 
著者
和文: A. Takano, N. Naito, M. Kawasaki, H. koinuma.  
英文: A. Takano, N. Naito, M. Kawasaki, H. koinuma.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:J. Noncryst. Solids 
巻, 号, ページ Vol. 164-166        pp. 115-118
出版年月 1993年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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