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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Characterization and Modification of Amorphous Carbon Films Consisting of SP2 and SP3 Bonds Using Magneto-Plasma Dynamic Arc-Jet 
著者
和文: 田邊靖博.  
英文: YASUHIRO TANABE.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn. J. Appl. Phys. 
巻, 号, ページ Vol. 33    No. 12A    pp. 6684-6690
出版年月 1994年 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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