Simulation study on flow stability of low pressure MOVPE process for III-nitrides

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Simulation study on flow stability of low pressure MOVPE process for III-nitrides

著者

和文:	Kinoshita A., Hirayama H., Takahashi M., Hirata A., Aoyagi Y..
英文:	Kinoshita A., Hirayama H., Takahashi M., Hirata A., Aoyagi Y..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Research Soc. 2001 Fall Meet., Boston, USA

巻, 号, ページ

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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