Atomic layer-by-layer MOCVD of high-k dielectric thin films with in-situ monitoring by spectroscopic ellipsometry

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Atomic layer-by-layer MOCVD of high-k dielectric thin films with in-situ monitoring by spectroscopic ellipsometry

著者

和文:	Y. Tsuchiya, M. Endo, M. Kurosawa, R.T.Tung T. Hattori, S. Oda.
英文:	Y. Tsuchiya, M. Endo, M. Kurosawa, R.T.Tung T. Hattori, S. Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Solid State Devices and Materials Conference, Extended Abstracts

巻, 号, ページ

pp. 474,P4-3

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: