Rare earth metal oxides for high-k gate insulator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Rare earth metal oxides for high-k gate insulator

著者

和文:	S.Ohmi, S.Akama, A.Kikuchi, I.Kashiwagi, C.Ohshima, J.Taguchi, H.Yamamoto, K.Sato, M.Takeda, H.Ishiwara, H.Iwai.
英文:	S.Ohmi, S.Akama, A.Kikuchi, I.Kashiwagi, C.Ohshima, J.Taguchi, H.Yamamoto, K.Sato, M.Takeda, H.Ishiwara, H.Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Electrochem. Soc. Proc. (9th Intern. Sympo. on Silicon Materials Science and Technology)

巻, 号, ページ

Vol. 2002-2 pp. 376-387

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: