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論文・著書情報


タイトル
和文:高誘電率希土類酸化物薄膜の耐湿性に関する検討　－アクリル容器からの放出ガスの影響－ 
英文: 
著者
和文: 赤間貞洋, 菊池明, 戸野谷純一, 大見俊一郎, 石原宏, 岩井洋.  
英文: 赤間貞洋, 菊池明, 戸野谷純一, 大見俊一郎, 石原宏, 岩井洋.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第49回応用物理学会関係連合講演会 講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 2        pp. 795
出版年月 2002年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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