Electrical Characterisitics Improvement of Dy<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Thin Films by In-situ Vacuum Anneal

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical Characterisitics Improvement of Dy₂O₃ Thin Films by In-situ Vacuum Anneal

著者

和文:	H. Yamamoto, J. Taguchi, S. -I. Ohmi, H. Iwai.
英文:	H. Yamamoto, J. Taguchi, S. -I. Ohmi, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	202^nd^ meeting of The Electrochemical Society

巻, 号, ページ

pp. 375

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: