Highly Conductive Microcrystalline Silicon Carbide Films Deposited by Hot-Wire Cell Method and its Application to Amorphous Silicon Solar Cells

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Highly Conductive Microcrystalline Silicon Carbide Films Deposited by Hot-Wire Cell Method and its Application to Amorphous Silicon Solar Cells

著者

和文:	Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Extended abstract of 2nd International Conference on Cat-CVD Process

巻, 号, ページ

pp. 163-166

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文: