Electrical characteristics of rare earth gate oxides improved by chemical oxide and long low temperature annealing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical characteristics of rare earth gate oxides improved by chemical oxide and long low temperature annealing

著者

和文:	S.Ohmi, I.Kashiwagi, C.Ohshima, J.Taguchi, H.Yamamoto, J.Tonotani, H.Ishiwara, H.Iwai.
英文:	S.Ohmi, I.Kashiwagi, C.Ohshima, J.Taguchi, H.Yamamoto, J.Tonotani, H.Ishiwara, H.Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2002 Intern. Conf. on Solid State Devices and Materials, Nagoya

巻, 号, ページ

No. B-7-4

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: