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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Characterization of BLT film formed on Pt electrode with (Cr,Ti)N/TiN/Ti barrier layers 
著者
和文: K.Aizawa, H.Ishiwara.  
英文: K.Aizawa, H.Ishiwara.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:6th Euro. Conf. on Applications of Polar Dielectrics, Averio 
巻, 号, ページ     No. O-5   
出版年月 2002年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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