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論文・著書情報


タイトル
和文:MOCVD法によるRu膜の強誘電体メモリ電極への適用検討 
英文: 
著者
和文: 古川泰助, 黒岩丈晴, 藤崎芳久, 佐藤剛彦, 石原宏.  
英文: 古川泰助, 黒岩丈晴, 藤崎芳久, 佐藤剛彦, 石原宏.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第63回応用物理学会学術講演会 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 25a-P6-4   
出版年月 2002年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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