Depth Profile of Fixed Charge in Epitaxial Oxide Films on Silicon Substrate for MFIS Structure

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Depth Profile of Fixed Charge in Epitaxial Oxide Films on Silicon Substrate for MFIS Structure

著者

和文:	T.Yamada, N.Wakiya, K.Shinozaki, N.Mizutani.
英文:	T.Yamada, N.Wakiya, K.Shinozaki, N.Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Joint Conference on theApplications of Ferroelectrics 2002, Abstract book

巻, 号, ページ

No. 30G-MM-13P pp. 229

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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英文:

開催地

和文:
英文: