超微粒子シードを用いたCSD法PZT薄膜の低温合成

論文・著書情報

タイトル

和文:	超微粒子シードを用いたCSD法PZT薄膜の低温合成
英文:	Low Temperature Fabrication of PZT Thin Film by Adding Ultra-Fine Seed Particles Using Chemical Solution Deposition

著者

和文:	横村伸緒, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	横村伸緒, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第15回日本セラミックス協会秋季シンポジウム講演予稿集
英文:	15th Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan

巻, 号, ページ

No. 1L19 pp. 96

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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