スパッタSrBi<sub>2</sub>Ta<sub>2</sub>O<sub>9</sub>強誘電体薄膜のSr組成制御による強誘電特性改善と低温結晶化 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	スパッタSrBi₂Ta₂O₉強誘電体薄膜のSr組成制御による強誘電特性改善と低温結晶化
英文:

著者

和文:	西岡浩, 石原宏.
英文:	西岡浩, 石原宏.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第49回応用物理学関係連合講演会
英文:

巻, 号, ページ

No. 28p-ZA-8

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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英文:

開催地

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英文:

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