Improvement of C-V characteristics and control of interlayer growth of rare earth oxide stabilized zirconia epitaxial gate dielectrics

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Improvement of C-V characteristics and control of interlayer growth of rare earth oxide stabilized zirconia epitaxial gate dielectrics

著者

和文:	Takanori KIGUCHI, Naoki WAKIYA, Kazuo SHINOZAKI, Nobuyasu MIZUTANI.
英文:	Takanori KIGUCHI, Naoki WAKIYA, Kazuo SHINOZAKI, Nobuyasu MIZUTANI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Key Engineering Materials

巻, 号, ページ

Vol. 248 pp. 137-140

出版年月

2003年6月

出版者

和文:
英文:	Key Engineering Materials

会議名称

和文:
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開催地

和文:
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DOI