Laser Ablation法によるSi(100)基板上へのbeta-FeSi2膜作製(2)

論文・著書情報

タイトル

和文:	Laser Ablation法によるSi(100)基板上へのbeta-FeSi2膜作製(2)
英文:

著者

和文:	掛本博文, 小原明, 渡辺文夫, 柴田肇, 勝俣裕, 小林直人, 長谷川雅考, 牧田雄之助, 植草新一郎, 塚本桓世.
英文:	掛本博文, 小原明, 渡辺文夫, 柴田肇, 勝俣裕, 小林直人, 長谷川雅考, 牧田雄之助, 植草新一郎, 塚本桓世.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	1996年秋季第57回応用物理学会学術講演会, (九州産業大学)
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 第2分冊 pp. 687

出版年月

1996年

出版者

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会議名称

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開催地

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