Deposition of Ti-DLC FIlms by Arc-Glow Hybrid Plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of Ti-DLC FIlms by Arc-Glow Hybrid Plasma CVD

著者

和文:	N. Ohtake, N. Taniguchi, H. Momose, Y. Aoki, T. Yasuhara.
英文:	N. Ohtake, N. Taniguchi, H. Momose, Y. Aoki, T. Yasuhara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Conference Record-Abstracts 2003 IEEE Int. Conf. Plasma Sci.

巻, 号, ページ

Vol. 03CH37470 pp. 360-360

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: