熱処理によるYSZ/Si薄膜構造変化のその場TEM観察

論文・著書情報

タイトル

和文:	熱処理によるYSZ/Si薄膜構造変化のその場TEM観察
英文:	In-situ TEM investigation of structural change of YSZ/Si films by heat treatment

著者

和文:	木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第19回日本セラミックス協会関東支部研究発表会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

No. 2A04 pp. 83-84

出版年月

2003年7月

出版者

和文:	第19回日本セラミックス協会関東支部研究発表会予稿集
英文:

会議名称

和文:	第19回日本セラミックス協会関東支部研究発表会
英文:

開催地

和文:	千葉
英文: