Φ300mmAiN基材へのダイヤモンド成膜 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	Φ300mmAiN基材へのダイヤモンド成膜
英文:

著者

和文:	東海林隆一, 中村幸則, 近藤好正, 大竹尚登.
英文:	東海林隆一, 中村幸則, 近藤好正, 大竹尚登.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第64回応用物理学会学術講演会講演予稿集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 031129 No. 2 pp. 512-512

出版年月

2003年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文:

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