Structure Analysis of CeO2/ZrO2/Si Multilayer Thin Films by HRTEM

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Structure Analysis of CeO2/ZrO2/Si Multilayer Thin Films by HRTEM

著者

和文:	Takanori KIGUCHI, Naoki WAKIYA, Kazuo SHINOZAKI, Nobuyasu MIZUTANI.
英文:	Takanori KIGUCHI, Naoki WAKIYA, Kazuo SHINOZAKI, Nobuyasu MIZUTANI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Research Society

巻, 号, ページ

No. T3.24 pp. 322

出版年月

1999年12月

出版者

和文:
英文:	Materials Research Society 1999 Fall Meeting

会議名称

和文:
英文:	Materials Research Society 1999 Fall Meeting

開催地

和文:
英文:	Boston USA