HRTEM INVESTIGATION OF EFFECT OF VARIOUS RARE EARTH OXIDE DOPANTS ON EPITAXIAL ZIRCONIA HIGH-K GATE DIELECTRICS

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	HRTEM INVESTIGATION OF EFFECT OF VARIOUS RARE EARTH OXIDE DOPANTS ON EPITAXIAL ZIRCONIA HIGH-K GATE DIELECTRICS

著者

和文:	Takanori KIGUCHI, Naoki WAKIYA, Kazuo SHINOZAKI, Nobuyasu MIZUTANI.
英文:	Takanori KIGUCHI, Naoki WAKIYA, Kazuo SHINOZAKI, Nobuyasu MIZUTANI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of Materials Research Society 2002 Fall Meeting

巻, 号, ページ

No. N9.7/T7.7 pp. 352

出版年月

2002年12月

出版者

和文:
英文:	Abstracts of Materials Research Society 2002 Fall Meeting

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Boston USA