Dry-etching method for fabricating photonic-crystal waveguides in nonlinear-optical polymers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Dry-etching method for fabricating photonic-crystal waveguides in nonlinear-optical polymers

著者

和文:	Shin-ichiro Inoue, Kotaro Kajikawa, Yoshinobu Aoyagi.
英文:	Shin-ichiro Inoue, Kotaro Kajikawa, Yoshinobu Aoyagi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl.Phys.Lett.

巻, 号, ページ

Vol. 82 No. 18 pp. 2966-2968

出版年月

2003年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI