半導体製造装置部材へのダイヤモンド膜応用(第1報)－耐プラズマエッチング特性評価－ | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	半導体製造装置部材へのダイヤモンド膜応用(第1報)－耐プラズマエッチング特性評価－
英文:

著者

和文:	東海林隆一, 中村幸則, 近藤好正, 大竹尚登.
英文:	東海林隆一, 中村幸則, 近藤好正, 大竹尚登.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2003 年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 456-456

出版年月

2003年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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