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論文・著書情報


タイトル
和文:半導体製造装置部材へのダイヤモンド膜応用（第３報）-３次元大型Ｓｉ３Ｎ４基材への成膜- 
英文: 
著者
和文: 東海林隆一, 中村幸則, 近藤好正, 大竹尚登.  
英文: 東海林隆一, 中村幸則, 近藤好正, 大竹尚登.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2003 年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 458-458
出版年月 2003年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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