プラズマCVD法によるアモルファス炭素膜の合成と電気的特性の評価 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	プラズマCVD法によるアモルファス炭素膜の合成と電気的特性の評価
英文:

著者

和文:	岩重　景, 青木佑一, 大竹尚登.
英文:	岩重　景, 青木佑一, 大竹尚登.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第11回機械材料・材料加工技術講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 03 No. 32 pp. 207-208

出版年月

2003年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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