ZrO2 thin films grown on silicon substrates by atomic layer deposition with Cp2Zr(CH3)2 and water as precursors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	ZrO₂ thin films grown on silicon substrates by atomic layer deposition with Cp₂Zr(CH₃)₂ and water as precursors

著者

和文:	M. Putkonen, J. Niinisto, K. Kukli, T. Sajavaara, M. Karppinen, H. Yamauchi, L. Niinisto.
英文:	M. Putkonen, J. Niinisto, K. Kukli, T. Sajavaara, M. Karppinen, H. Yamauchi, L. Niinisto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Chemical Vapor Deposition

巻, 号, ページ

Vol. 9 pp. 207-212

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
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