アクティブバルブを用いた共振駆動形圧電マイクロポンプ（負荷特性と小形化の検討） | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	アクティブバルブを用いた共振駆動形圧電マイクロポンプ（負荷特性と小形化の検討）
英文:

著者

和文:	朴重濠, 吉田和弘, 石川主税, 横田眞一, 瀬戸毅, 高城邦彦.
英文:	朴重濠, 吉田和弘, 石川主税, 横田眞一, 瀬戸毅, 高城邦彦.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会第３回機素潤滑設計部門講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 77-80

出版年月

2003年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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