Theoretical and Experimental Analyses of C stability in Epitaxial Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub> Film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Theoretical and Experimental Analyses of C stability in Epitaxial Si_1-yC_y Film

著者

和文:	S. Yagi, K. Abe, A. Yamada, M. Konagai.
英文:	S. Yagi, K. Abe, A. Yamada, M. Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Third International Conference on SiGe(C) Epitaxy and Heterostructures

巻, 号, ページ

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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英文: