SiH<sub>3</sub>CH<sub>3</sub>を用いたホットワイヤーセル法による微結晶Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub>薄膜の作製 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	SiH₃CH₃を用いたホットワイヤーセル法による微結晶Si_1-yC_y薄膜の作製
英文:

著者

和文:	宮島　晋介, 山田　明, 小長井　.
英文:	宮島　晋介, 山田　明, 小長井　.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第63回応用物理学関係連合講演会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 25a-ZM-9

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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