Characterization of Lu<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Thin Films Fabricated by E-beam Deposition Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of Lu₂O₃ Thin Films Fabricated by E-beam Deposition Method

著者

和文:	S. Ohmi, M. Takeda, H. Ishiwara, H. Iwai.
英文:	S. Ohmi, M. Takeda, H. Ishiwara, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 2nd Int. Conf. Semicond. Technol.

巻, 号, ページ

Vol. PV 2002-17 pp. 251-261

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: