Wet Etching for Self-Aligned 0.1-mm-wide Emitter in InP/InGaAs HBT

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Wet Etching for Self-Aligned 0.1-mm-wide Emitter in InP/InGaAs HBT

著者

和文:	K. Takeuchi, H. Maeda, R. Nakagawa, Y. Miyamoto, K. Furuya.
英文:	K. Takeuchi, H. Maeda, R. Nakagawa, Y. Miyamoto, K. Furuya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Topical Workshop on Heterostructure Microelectronics (TWHM'03)

巻, 号, ページ

Vol. W-11

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: