HRTEM Investigation of Effect of Various Rare Earth Oxide Dopants on Epitaxial Zirconia High-K Gate Dielectrics

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	HRTEM Investigation of Effect of Various Rare Earth Oxide Dopants on Epitaxial Zirconia High-K Gate Dielectrics

著者

和文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.
英文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Material Research Society, 2002 Fall Meeting(

巻, 号, ページ

No. N9.7/T7.7 pp. 176

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: