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論文・著書情報


タイトル
和文:減圧仮焼成プロセスを用いたBLT強誘電体薄膜の大幅特性向上 
英文: 
著者
和文: 藤崎芳久, 井関邦江, 石原宏.  
英文: 藤崎芳久, 井関邦江, 石原宏.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電子情報通信学会技術研究報告 
英文: 
巻, 号, ページ     No. SDM2002-271   
出版年月 2003年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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