Micromechanical Testing of SU-8 Cantilevers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Micromechanical Testing of SU-8 Cantilevers

著者

和文:	M. Hopcroft, T. Kramer, G. Kim, K. Takashima, Y. Higo, D. F. Moore, J. Brugger.
英文:	M. Hopcroft, T. Kramer, G. Kim, K. Takashima, Y. Higo, D. F. Moore, J. Brugger.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of ATEM03 (International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2003)

巻, 号, ページ

pp. OS06W0411-6pages

出版年月

2003年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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