Fabrication of carbonaceous thin films and clusters using the low temperature rf plasma generated under atmospheric pressure

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of carbonaceous thin films and clusters using the low temperature rf plasma generated under atmospheric pressure

著者

和文:	T. Terajima, K. A. Chaudhary, K. Inomata, H. Koinuma.
英文:	T. Terajima, K. A. Chaudhary, K. Inomata, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	New diamond and frontier carbon technology

巻, 号, ページ

Vol. 13 pp. 231-244

出版年月

2003年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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