次世代ゲート絶縁膜の課題とコンビナトリアル手法による材料探索 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	次世代ゲート絶縁膜の課題とコンビナトリアル手法による材料探索
英文:

著者

和文:	知京豊裕, Parhat Ahamet, 中島清美, 岡崎紀明, 長谷川顕, 田森　妙, 鯉沼秀臣.
英文:	知京豊裕, Parhat Ahamet, 中島清美, 岡崎紀明, 長谷川顕, 田森　妙, 鯉沼秀臣.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	固体物理
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 38 pp. 545-552

出版年月

2003年

出版者

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会議名称

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開催地

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