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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Fabrication of Ru/Bi4-XLaXTi3O12/Ru ferroelectric capacitor structure using a Ru film deposited by metalorganic chemical vapor deposition 
著者
和文: D.Furukawa, T.Kuroiwa, Y.Fujisaki, T.Sato, H.Ishiwara.  
英文: D.Furukawa, T.Kuroiwa, Y.Fujisaki, T.Sato, H.Ishiwara.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Fall Meeting of Mater. Res. Soc. (Sympo. C ; Ferroelectric thin Films XII) 
巻, 号, ページ     No. C7.7   
出版年月 2003年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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