Pulsed Source MOCVD of high-k dielectric thin films with in-situ monitoring by spectroscopic ellipsometry

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Pulsed Source MOCVD of high-k dielectric thin films with in-situ monitoring by spectroscopic ellipsometry

著者

和文:	Y. Tsuchiya, M. Endo, M. Kurosawa, R.T.Tung T. Hattori, S. Oda.
英文:	Y. Tsuchiya, M. Endo, M. Kurosawa, R.T.Tung T. Hattori, S. Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 42 (4B) pp. 1957-1961

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: