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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Pulsed-source MOCVD HfO2 ultrathin film growth optimized by in situ ellipsometry monitoring 
著者
和文: Y. Tsuchiya, M. Endo, S. Oda.  
英文: Y. Tsuchiya, M. Endo, S. Oda.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Solid State Devices and Materials Conference, Extended Abstracts 
巻, 号, ページ        
出版年月 2003年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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