Room-Temperature Fabrication of Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Thick Films for Integral Substrates of Microwave Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Room-Temperature Fabrication of Al₂O₃ Thick Films for Integral Substrates of Microwave Devices

著者

和文:	S. M. Nam, N. Mori, H. Kakemoto, S. Wada, J. Akedo, T. Tsurumi.
英文:	S. M. Nam, N. Mori, H. Kakemoto, S. Wada, J. Akedo, T. Tsurumi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. The 11th US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics, Sapporo, Japan

巻, 号, ページ

pp. 117-120

出版年月

2003年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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