Characteristics of Bottom Gate Thin Film Transistors with Silicon rich poly-Si1-xGex and poly-Si fabricated by Reactive Thermal Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characteristics of Bottom Gate Thin Film Transistors with Silicon rich poly-Si1-xGex and poly-Si fabricated by Reactive Thermal Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	Kousaku Shimizu, JianJun Zhang, Jeong-Woo Lee, Jun-ichi Hanna.
英文:	Kousaku Shimizu, JianJun Zhang, Jeong-Woo Lee, Jun-ichi Hanna.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Mat. Res. Soc. Spring Meeting, Sn Francisco

巻, 号, ページ

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: