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論文・著書情報


タイトル
和文:NH3を用いた反応性蒸着によるAlN,GaN薄膜の作製とその評価 
英文: 
著者
和文: 手賀直樹, 中村吉男, 史　蹟, 入戸野修.  
英文: 手賀直樹, 中村吉男, 史　蹟, 入戸野修.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本金属学会講演概要 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 560
出版年月 2003年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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