Proposal of a multi-layer channel MOSFET: the application of selective etching for Si/SiGe stacked layers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Proposal of a multi-layer channel MOSFET: the application of selective etching for Si/SiGe stacked layers

著者

和文:	D. Sasaki, S. Ohmi, M. Sakuraba, J. Murota, T. Sakai.
英文:	D. Sasaki, S. Ohmi, M. Sakuraba, J. Murota, T. Sakai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Surface Scienece

巻, 号, ページ

Vol. 224 pp. 270-273

出版年月

2004年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: