Mechanical Properties of DLC FIlms Prepared Inside of Micro-holes by Pulse Plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Mechanical Properties of DLC FIlms Prepared Inside of Micro-holes by Pulse Plasma CVD

著者

和文:	X. D. Yang, T. Saito, Y. Nakamura, Y. Kondo, N. Ohtake.
英文:	X. D. Yang, T. Saito, Y. Nakamura, Y. Kondo, N. Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of The 9th Int. Conf. on New Diamond Science and Technology

巻, 号, ページ

pp. 55-55

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: