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論文・著書情報


タイトル
和文:ナノパルスプラズマCVDによる大気圧下でのDLC膜合成 
英文: 
著者
和文: 大竹尚登, 齊藤隆雄, 細野慎太朗, 中村幸則, 近藤好正, 今西雄一郎, 藤原　修.  
英文: 大竹尚登, 齊藤隆雄, 細野慎太朗, 中村幸則, 近藤好正, 今西雄一郎, 藤原　修.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第51回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 642-642
出版年月 2004年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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