４価の酸化物をドープしたジルコニア/シリコン薄膜の界面構造評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	４価の酸化物をドープしたジルコニア/シリコン薄膜の界面構造評価
英文:	TEM investigation of interface structure of tetravalent oxide doped zirconia/silicon thin film

著者

和文:	木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会2004年年会予稿集
英文:	Abstract book of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2004

巻, 号, ページ

No. 2A15 pp. 140

出版年月

2004年3月

出版者

和文:	日本セラミックス協会2004年年会予稿集
英文:	Abstract book of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2004

会議名称

和文:	日本セラミックス協会2004年年会
英文:

開催地

和文:	湘南工科大学　藤沢
英文: